S4800冷场发射扫描电子显微镜广泛地应用于各种金属材料和非金属材料的检验和研究。在材料科学研究、金属材料、化学材料、半导体材料、陶瓷材料等多个领域可以进行材料的微观形貌、组织、成分分析,材料断口分析和失效分析;各种材料的形貌组织观察;材料实时微区成分分析;快速的多元素面扫描和线扫描分布测量;晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶粒取向测量;元素定量、定性成分分析;晶体、晶粒的相鉴定。
技术参数: 二次电子分辨率: 1.4nm (1 kV,减速模式) 1.0nm (15kV) 电子光学: 电子枪: 冷场发射电子源 加速电压: 0.5~30kV(0.1KV/步,可变) 放大倍率: x 20~ x 800,000 物镜光阑: 4孔,真空外选择和调校(内置加热器) 检测器: 二次电子检测器 (高位/低位) 透射电子检测器 法拉第杯阴极荧光检测器 样品台: l型: X: 0~50mm Y: 0~50mm Z:1.5~30mm T: -5~+70°R:360° 驱动:手动(可选3轴驱动) 扫描模式: 标准,Split/dual mag./line scan, position set, spot, AAF, SAA, oblique 画面储存: 640 x 480, 1,280 x 960, 2,560 x 1,920,5,120 x 3,840 扫描速度: TV, 慢速 (0.5 ~ 40 s/帧) 用于观察 慢速 (40 ~ 320 s/帧) 用于记录 成像过程: 自动调节亮度和对比度 光栅旋转,自动聚焦,自动像散校正, 平均,帧积分,伪彩色显示 自动数据记录: 胶卷号,加速电压,微米标尺,放大倍率,日期,时间,工作距离 电子图像移动: ±12u( W.D. = 8 mm)
主要特点:
1. 新型物镜采用专利的ExB设计。使用单检测器和超级ExB可以分别收集和分离单纯二次电子、混合二次电子及背散射电子的信号。 2. 1KV低加速电压,不使用减速功能,可保证有2.0nm的分辨率。 3. 两种样品台可选:I型50mm x 50mm标准样品台或Ⅱ型110mm x 110mm大样品台。
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