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S4800冷场发射扫描电子显微镜

S4800冷场发射扫描电子显微镜

广泛地应用于各种金属材料和非金属材料的检验和研究。在材料科学研究、金属材料、化学材料、半导体材料、陶瓷材料等多个领域可以进行材料的微观形貌、组织、成分分析,材料断口分析和失效分析;各种材料的形貌组织观察;材料实时微区成分分析;快速的多元素面扫描和线扫描分布测量;晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶粒取向测量;元素定量、定性成分分析;晶体、晶粒的相鉴定。


技术参数:
二次电子分辨率: 1.4nm (1 kV,减速模式) 1.0nm (15kV)
电子光学:
电子枪: 冷场发射电子源
加速电压: 0.5~30kV(0.1KV/步,可变)
放大倍率: x 20~ x 800,000
物镜光阑: 4孔,真空外选择和调校(内置加热器)
检测器: 二次电子检测器 (高位/低位) 透射电子检测器 法拉第杯阴极荧光检测器
样品台: l型:
X: 0~50mm Y: 0~50mm Z:1.5~30mm T: -5~+70°R:360°
驱动:手动(可选3轴驱动)
扫描模式: 标准,Split/dual mag./line scan, position set, spot, AAF, SAA, oblique
画面储存: 640 x 480, 1,280 x 960, 2,560 x 1,920,5,120 x 3,840
扫描速度: TV, 慢速 (0.5 ~ 40 s/帧) 用于观察 慢速 (40 ~ 320 s/帧) 用于记录
成像过程: 自动调节亮度和对比度
光栅旋转,自动聚焦,自动像散校正,
平均,帧积分,伪彩色显示
自动数据记录: 胶卷号,加速电压,微米标尺,放大倍率,日期,时间,工作距离
电子图像移动: ±12u( W.D. = 8 mm)


主要特点:
1. 新型物镜采用专利的ExB设计。使用单检测器和超级ExB可以分别收集和分离单纯二次电子、混合二次电子及背散射电子的信号。
2. 1KV低加速电压,不使用减速功能,可保证有2.0nm的分辨率。
3. 两种样品台可选:I型50mm x 50mm标准样品台或Ⅱ型110mm x 110mm大样品台。

 

 
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